Atmel® SMART SAM3S Flash mikrokontroller (MCU), der er baseret på ARM® Cortex® -M3 kerne, integrerer funktioner til forenkling af systemdesign og reduceret strømforbrug ned til 2,3 mW ved 1 MHz, 1,45 mW/MHz ved 64 MHz drift og 1,6 μA i backup-tilstand med realtidsuret kørende. Serien har også parallel opsamlingstilstand og understøtter QTouch kapacitiv touch.